HIDEN RGA系列四极质谱仪残余气体分析检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体的分析，针对真空诊断的准确分析。

应用：

1、残余气体或泄漏检测
2、实质上的泄漏或脱附分析
3、除气研究
4、烘烤周期
5、泵效能
6、腔室/过程气体污染物

四极质谱仪特点：

1、灵敏度PPM,质量数至300amu
2、稳定性（24小时以上，峰高变化小于±0.5%）
3、MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
4、快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
5、混合模式扫描－多个windows窗口显示信息，例如趋势、柱状图和信号峰
6、同步显示数据图，列表
7、同步背景扣除，自动质量数列表
8、数据输出为ASCII格式，至windows设备
9、即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如Excel、SPC-IV统计过程控制软件等。