离子蚀刻探针－终点检测仪

应用：
· 终点检测
· 靶的纯度测定
· 质量控制/SPC
· 残余气体分析
特点：
· 高灵敏度的SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
· 离子光学透镜、能量分析器和离子源
· 真空规和安全互锁装置提供过压保护
· 软件MASsoft通过RS232、RS485或以太网控制
· 可编程的DDE，平行数字数据I/O，RS232脚本通讯

应用：
· 终点检测
· 靶的纯度测定
· 质量控制/SPC
· 残余气体分析
特点：
· 高灵敏度的SIMS/MS，带脉冲离子计数检测器
· 离子光学透镜、能量分析器和离子源
· 真空规和安全互锁装置提供过压保护
· 软件MASsoft通过RS232、RS485或以太网控制
· 可编程的DDE，平行数字数据I/O，RS232脚本通讯