LUXET Thermo 100 是一款全guo产化的锁相红外显微成像系统。配备了全自动运动系统、高灵敏度制冷型中波红外相机、广角镜头与大倍率显微镜头、高压源表，可以适用于晶圆、电路板等多种不同种类器件的失效点定位。

LUXET Thermo 100锁相红外显微成像系统特色：

应用场景：

物镜 8X

电压 6V

锁相频率 12.5Hz

· 电极之间的短路

· 漏电和击穿

· 器件电阻异常

· 器件上的温度分布

工作原理：

锁相红外显微成像系统测量过程是通过调制施加的电流或电压，利用视频锁相算法来达到降低背景噪声的目的。利用这个技术，器件的失效点可非常精准地被定位。

软件：

自主研发的测量软件,包含时域重构、深度测量、图像暂存、电压-电流测量等功能。

LUXET Thermo 100锁相红外显微成像系统规格：