扫描狭缝光束分析仪DataRay的Beam'R2非常适合许多激光光束分析应用。Beam'R2具有标准的2.5µm狭缝和更大的刀口狭缝，能够测量直径小至2µm的光束。通过选择Si和InGaAs或扩展InGaAs，Beam'R2可以对190nm至2500nm的光束进行轮廓分析。扫描狭缝仪器提供比基于相机的系统高得多的分辨率。

　　DataRay的BeamMap2代表了一种*不同的实时光束分析方法。它允许沿光束行进在多个位置进行测量，从而扩展了Beam'R2的测量能力。这种实时狭缝扫描系统在旋转圆盘上的多个z平面中使用XY狭缝对，同时测量四个不同轴向位置的光束轮廓。BeamMap2*的设计良好利于实时测量焦点位置、M2、光束发散和指向。

　　系统特点

　　ƒ符合ISO标准的光束直径测量。

　　ƒ端口USB2.0供电。

　　ƒ自动增益功能。

　　ƒ用于符合ISO11146标准的M2测量的可选载物台附件。

　　ƒTrue2D狭缝。

　　ƒ分辨率高达0.1µm。

　　ƒ探测器选项，190–2500nm。

　　ƒ5Hz更新率（用户可调2-12Hz）

　　ƒ测量高重复脉冲激光。

　　ƒ脉冲最小PRR=[500/(光束直径，单位为µm)]kHz。

　　BeamMap2增加了以下扫描狭缝光束分析仪的功能：

　　ƒ多z平面扫描。

　　ƒXYZ截面，包括θ-Φ。

　　ƒ焦点位置和直径。

　　ƒ实时M2、指向和发散。

　　ƒ使用BeamMap2-Collimate实时测量准直光束的发散度。

　　ƒ以±1µm的重复精度（取决于光束）识别焦点。

　　ƒ可选的LensPlate2用于到达难以接近的束腰和重新成像波导。

　　应用

　　ƒ非常小的激光束轮廓测量。

　　ƒ光学组装和仪器校准。

　　ƒOEM集成。

　　ƒ镜头焦距测试。

　　ƒ聚焦和校准误差的实时诊断。

　　ƒ将多个组件实时设置为同一焦点。

　　True2D狭缝。

　　ƒ蓝宝石衬底上的0.4µm厚度多层金属膜。

　　ƒ相对于气隙的优势。

　　ƒ避免隧道效应。

　　ƒ气隙通常比宽度更深，并且在高辐照度下会弯曲。