产品名称：红外气体传感器

产品型号：Gasboard-2061

红外气体传感器产品概述

红外气体传感器是由四方仪器自主研发的高性能气体传感器，产品基于非分光红外技术(NDIR),能够精确测量半导体等应用中产生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体,兼容机台内常见预留尺寸、法兰和通讯协议，可用于半导体沉积和清洗工艺的端点检测、腔室清理终端检测,能够减少清洁时间,节约成本,提高产量。

产品特性

（1）使用NDIR技术，多气体监测支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等气体)

（2）响应时间快，高灵敏度

（3）无耗材

（4）模拟/数字通信

（5）模块化设计，便于集成

技术参数

半导体行业薄膜沉积工艺CVD设备的EPD气体检测