产品简介：

ProRGA-7000残余气体质谱分析仪是聚光科技基于质谱分析技术平台开发的一款高性能残余气体分析仪，用于检测特定真空区域内关键气体分压，适用于真空度10Pa到常压应用场合。具有毫秒级响应速度和ppb级的灵敏度，非常适合检测真空泄露状态，如电池、半导体、冻干机等真空腔体内部特定过程相关气体的污染水平或动态波动，并及时提醒用户可能产生的潜在风险，提升产品良品率。

ProRGA-7000残余气体质谱分析仪产品特点

检测效率高：支持多个标记物同时检测，单组分检测事件小于0.5s。

产品自动化：具备自动校准功能，消除传感器云顶飘逸，确保长期数据稳定性

高精度：采用高精度四极杆质量分析器，适用于真空度10Pa到常压应用场合下ppb级残余气体分析。

应用领域

电池、半导体、冻干机等行业